на
-Една/две врати
Рамката и комората се направени од јаглероден нерѓосувачки челик.
Секоја врата обезбедува прозорец за проверка за визуелна контрола на процесот.Ѕидовите на вратата обезбедуваат облога од нерѓосувачки челик што лесно се отстранува за одржување.
-Прилагодена вакуумска комора
Комората обезбедува внатрешни облоги од не'рѓосувачки челик што лесно се отстрануваат за чистење.
Пумпите стојат на неговиот заден дел.
Комората има низа мали прирабници за целите на мерењето.
-Систем за пумпање со висок вакуум
Дифузна пумпа + Бустер пумпа + Механичка пумпа
-Вакумско мерење и контрола
Со метален пирани мерач+метален мерач за јонизација
-Систем за движење на тела
- Контролна единица за PLC
-Систем за испарување на алуминиум со трансформатор со висока моќност
- Железна рамка
Структурата е разумна
Филмскиот слој е униформа
Квалитет на формирање филм
Висока брзина на пумпање, краток работен циклус и висока производна ефикасност
Операцијата е погодна
Ниска потрошувачка на енергија и стабилни перформанси
Број на модел | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Достапни се две врати или модел со две комори | |
Димензии на вакуумската комора (дијаметар*висина) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Материјал на вакуумска комора | Јаглероден челик, SUS304 или SUS316L | ||||||
Технологија на работа | испарување отпорност на вакуум со волфрам и алуминиумски филаменти, трансформатор за испарување со висока моќност | ||||||
Систем за пумпање | Дифузиона пумпа + механички пумпи, бустер пумпа | ||||||
Време на пумпање | Од атмосфера до 5,0*10-2Pa помалку од 8 минути | ||||||
Ограничување на вакуум | 5,0*10-4 Па | ||||||
Работна температура | Собна температура | ||||||
Работен режим | Автоматски или рачен режим, екран на допир со PLC од 10,4 инчи | ||||||
Вкупна моќност | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Стапало | 2*2 метри | 2*3 метри | 3*3 метри | 3*3 метри | 3*4 метри | 4*5 метри | 5*6 метри |
Овие единици можете да ги направите по нарачка | 1. Големина на вакуумската комора 2. Конфигурации на пумпи | ||||||
Факултативни инструменти | 1. Детектор за истекување 3. Систем за таложење на лак јони 4. Магнтронски систем за прскање |